• 鏡頭精密調(diào)節(jié)
• 精密半導(dǎo)體設(shè)備
• 精密電子顯微鏡調(diào)節(jié)
• 精密醫(yī)學(xué)檢測設(shè)備
• 無磁環(huán)境
• 真空無發(fā)熱環(huán)境

微步式驅(qū)動原理實現(xiàn)納米級精度和高驅(qū)動力
陶瓷微步電機是一種新型仿生式壓電執(zhí)行器，通過多組多維度壓電執(zhí)行器單元按照步進式的多組動作邏輯進行驅(qū)動，實現(xiàn)對電機動子的直線驅(qū)動。其主要特點是體積小、驅(qū)動力大；在靜態(tài)下可以保持高夾持力，且無熱功耗；可將單步實現(xiàn)高細分，實現(xiàn)納米級高分辨率；步進式運動方式，可以實現(xiàn)毫米級大運動行程。
選配增量式光柵尺實現(xiàn)高精度定位
非接觸式光柵尺可以直接檢測運動臺面的位移，最大程度避免了間接位移檢測帶來的位置誤差。
可適合復(fù)雜真空環(huán)境應(yīng)用
陶瓷微步電機可選配真空版本。電機靜態(tài)下無熱功耗，不產(chǎn)生磁場。