• 高驅(qū)動力
  • 納米精度
  • 高靜態(tài)保持力
  • 大行程范圍
  • 高分辨率
  • 兼容高真空
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    上海隱冠半導(dǎo)體技術(shù)有限公司

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    產(chǎn)品中心詳情頁2
    PMNL-C系列壓電微步電機(jī)
    PMNL-C系列壓電微步電機(jī)
    PMNL-C系列壓電微步電機(jī)
    主要特點(diǎn)

    • 高驅(qū)動力
    • 納米精度
    • 高靜態(tài)保持力
    • 大行程范圍
    • 高分辨率
    • 兼容高真空

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    主要應(yīng)用
    • 鏡頭精密調(diào)節(jié)
    • 精密半導(dǎo)體設(shè)備
    • 精密電子顯微鏡調(diào)節(jié)
    • 精密醫(yī)學(xué)檢測設(shè)備
    • 無磁環(huán)境
    • 真空無發(fā)熱環(huán)境
    性能簡介

    微步式驅(qū)動原理實(shí)現(xiàn)納米級精度和高驅(qū)動力
    陶瓷微步電機(jī)是一種新型仿生式壓電執(zhí)行器,通過多組多維度壓電執(zhí)行器單元按照步進(jìn)式的多組動作邏輯進(jìn)行驅(qū)動,實(shí)現(xiàn)對電機(jī)動子的直線驅(qū)動。其主要特點(diǎn)是體積小、驅(qū)動力大;在靜態(tài)下可以保持高夾持力,且無熱功耗;可將單步實(shí)現(xiàn)高細(xì)分,實(shí)現(xiàn)納米級高分辨率;步進(jìn)式運(yùn)動方式,可以實(shí)現(xiàn)毫米級大運(yùn)動行程。
    選配增量式光柵尺實(shí)現(xiàn)高精度定位
    非接觸式光柵尺可以直接檢測運(yùn)動臺面的位移,最大程度避免了間接位移檢測帶來的位置誤差。
    可適合復(fù)雜真空環(huán)境應(yīng)用
    陶瓷微步電機(jī)可選配真空版本。電機(jī)靜態(tài)下無熱功耗,不產(chǎn)生磁場。

    機(jī)械尺寸圖

     

    技術(shù)參數(shù)
    <<<左滑查看更多參數(shù)

    參數(shù)名稱

    PMNL - C05 - 10N

    PMNL - C10 - 10N

    單位

    公差

    運(yùn)動軸

    X

    X

    -

    -

    運(yùn)動行程

    10

    10

    mm

    -

    模擬量模式下行程

    ±2

    ±2

    μm

    -

    開環(huán)分辨率

    1

    1

    nm

    典型值

    速度

    1

    1

    mm/s

    最大值

    最大驅(qū)動頻率

    250

    250

    Hz

    ±20%

    驅(qū)動力

    50

    100

    N

    最大值

    保持力

    70

    130

    N

    最小值

    工作電壓

    -250~+250

    -250~+250

    V

    -

    工作溫度范圍

    0 - 55

    0 - 55

    -

    材料

    鋁,不銹鋼,鈦

    鋁,不銹鋼,鈦

    -

    -

    質(zhì)量

    115

    160

    g

    ±5%

    電纜長度

    2

    2

    m

    ±0.05m

    電機(jī)接口

    Sub - D15 公頭

    Sub - D15 公頭

    -

    -

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