靜電吸盤控制器是雙極可逆電源，特為在真空環(huán)境下靜電吸盤吸附 Wafer 的控制應(yīng)用而設(shè)計(jì)。通過控制器的兩個(gè)高壓接頭分別向靜電吸盤中通極性相反的 0~5000V 吸附高壓，同樣的，也可以提供極性相反的釋放電壓。此外，本控制器可以實(shí)現(xiàn)對(duì) Wafer 的穿刺功能，通過穿刺高壓接口向靜電吸盤提供 1000~4000V 的穿刺電壓。同時(shí)，該控制器可監(jiān)測(cè) Wafer 的吸附 / 釋放狀態(tài)。以及高壓穿刺結(jié)果。
控制器預(yù)留有 DB9 接口可以實(shí)現(xiàn)與上位機(jī)通訊，通過上位機(jī)下發(fā)指令對(duì)控制器的功能進(jìn)行控制，同時(shí)可以監(jiān)測(cè)控制器的運(yùn)行狀態(tài)。