• 1000N推力
  • 10億次使用壽命的壓電陶瓷
  • 亞納米級分辨率
  • 結(jié)構(gòu)簡單,體積小巧
  • 適用高真空環(huán)境10??Pa
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    上海隱冠半導(dǎo)體技術(shù)有限公司

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    產(chǎn)品中心詳情頁2
    壓電預(yù)壓致動器
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    A5型壓電預(yù)壓致動器
    A5型壓電預(yù)壓致動器
    A5型壓電預(yù)壓致動器
    主要特點

    • 1000N推力
    • 10億次使用壽命的壓電陶瓷
    • 亞納米級分辨率
    • 結(jié)構(gòu)簡單,體積小巧    
    • 適用高真空環(huán)境10??Pa

    規(guī)格書下載 使用手冊獲取
    主要應(yīng)用
    • 靜態(tài)和動態(tài)精密定位
    • 光纖定位調(diào)節(jié)
    • 激光調(diào)諧    
    • 微納技術(shù)
    性能簡介

    預(yù)壓致動器是一種壓電陶瓷疊堆的鎧裝設(shè)備,起到保護疊堆和方便安裝的作用,同時預(yù)壓致動器內(nèi)部對壓電陶瓷施加了預(yù)壓力,可提供一定的拉力和對位移輸出的調(diào)節(jié)。預(yù)壓致動器可內(nèi)部集成應(yīng)變片實現(xiàn)閉環(huán)控制。

    機械尺寸圖

    默認輸出端為球頭,可定制其他輸出端結(jié)構(gòu)。

     

    技術(shù)參數(shù)
    <<<左滑查看更多參數(shù)

     

    PAPL - A5 - 36N

    PAPL - A5 - 45N

    PAPL - A5 - 60N

    PAPL - A5 - 90N

    單位

    公差

    行程 @150V*

    40

    50

    65

    100

    μm

    ±20%

    電容**

    3

    3.8

    5

    7.5

    μF

    ±20%

    開環(huán)分辨率

    0.36

    0.45

    0.6

    0.9

    nm

    典型值

    集成傳感器

     

     

    SGS

     

     

    /

    閉環(huán)分辨率***

    0.72

    0.9

    1.2

    1.8

    nm

    典型值

    諧振頻率

    12

    10

    7

    4

    kHz

    ±20%

    剛度

    20

    17

    12

    8

    N/μm

    ±20%

    推力****

    850

    850

    850

    850

    N

    最大值

    拉力

    150

    150

    150

    150

    N

    最大值

    工作電壓

    -20~150

    V

    /

    工作溫度范圍

    -20~80

    °C

    /

    電壓接口

    LEMO FFA.00.250

     

    /

    傳感器接口

    LEMO FFA.0S.304

     

    /

    線長

    1.5

    m

    ±0.02

     

    * 空載下位移輸出
    ** 電容測試條件:常溫環(huán)境,1Vpp,1kHz
    *** 閉環(huán)參數(shù)只適用閉環(huán)版本的壓電預(yù)壓致動器
    **** 推力測試:驅(qū)動電壓0~150V
    其他規(guī)格可根據(jù)客戶需求進行定制

    型號解讀
    <<<左滑查看更多參數(shù)

    定制信息

    PAPL系列A5型壓電預(yù)壓致動器,開環(huán)版本

    型號

    說明

    PAPL-A5-36N

    A5型壓電預(yù)壓致動器,有效行程40μm,開環(huán)

    PAPL-A5-45N

    A5型壓電預(yù)壓致動器,有效行程50μm,開環(huán)

    PAPL-A5-60N

    A5型壓電預(yù)壓致動器,有效行程65μm,開環(huán)

    PAPL-A5-90N

    A5型壓電預(yù)壓致動器,有效行程100μm,開環(huán)

     

    PAPL系列A5型壓電預(yù)壓致動器,應(yīng)變片閉環(huán)版本

    型號

    說明

    PAPL-A5-36S

    A5型壓電預(yù)壓致動器,有效行程40μm,應(yīng)變片閉環(huán)

    PAPL-A5-45S

    A5型壓電預(yù)壓致動器,有效行程50μm,應(yīng)變片閉環(huán)

    PAPL-A5-60S

    A5型壓電預(yù)壓致動器,有效行程65μm,應(yīng)變片閉環(huán)

    PAPL-A5-90S

    A5型壓電預(yù)壓致動器,有效行程100μm,應(yīng)變片閉環(huán)

     

    PAPL系列A5型壓電預(yù)壓致動器,開環(huán)、真空兼容版本

    型號

    說明

    PAPL-A5-36NU

    A5型壓電預(yù)壓致動器,有效行程40μm,開環(huán),真空兼容至10??Pa

    PAPL-A5-45NU

    A5型壓電預(yù)壓致動器,有效行程50μm,開環(huán),真空兼容至10??Pa

    PAPL-A5-60NU

    A5型壓電預(yù)壓致動器,有效行程65μm,開環(huán),真空兼容至10??Pa

    PAPL-A5-90NU

    A5型壓電預(yù)壓致動器,有效行程100μm,開環(huán),真空兼容至10??Pa

     

    PAPL系列A5型壓電預(yù)壓致動器,應(yīng)變片閉環(huán)、真空兼容版本

    型號

    說明

    PAPL-A5-36SU

    A5型壓電預(yù)壓致動器,有效行程40μm,應(yīng)變片閉環(huán),真空兼容至10??Pa

    PAPL-A5-45SU

    A5型壓電預(yù)壓致動器,有效行程50μm,應(yīng)變片閉環(huán),真空兼容至10??Pa

    PAPL-A5-60SU

    A5型壓電預(yù)壓致動器,有效行程65μm,應(yīng)變片閉環(huán),真空兼容至10??Pa

    PAPL-A5-90SU

    A5型壓電預(yù)壓致動器,有效行程100μm,應(yīng)變片閉環(huán),真空兼容至10??Pa

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