• 單T軸
  • 氣浮軸承
  • 雙向重復精度:±1arcsec
  • 最大轉(zhuǎn)速:600rpm@48V
  • 直徑:100mm
  • 中空設(shè)計,中空尺寸25mm
  • 最大負載_軸向:53Kg

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    上海隱冠半導體技術(shù)有限公司

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    產(chǎn)品中心詳情頁2
    PART100精密氣浮轉(zhuǎn)臺
    PART100精密氣浮轉(zhuǎn)臺
    PART100精密氣浮轉(zhuǎn)臺
    主要特點

    • 大負載、高精度的氣浮軸承
    • 重復性高、可實現(xiàn)高定位精度
    • 高水平的加工技術(shù)
    • 靈活定制

    規(guī)格書下載 使用手冊獲取
    主要應(yīng)用

    半導體設(shè)備和激光領(lǐng)域

    性能簡介

    PART100精密氣浮轉(zhuǎn)臺高精度的回轉(zhuǎn)精度,提供超平穩(wěn)的運動,角秒級別的精度和絕對重復性;高超的制造水平,保證了氣浮軸承的質(zhì)量和穩(wěn)定性;輕質(zhì)化設(shè)計,產(chǎn)品重量輕,更便于集成。

    機械尺寸圖

     *接口尺寸數(shù)據(jù)來源于PART100

    技術(shù)參數(shù)
    <<<左滑查看更多參數(shù)

    技術(shù)指標

    單位

    PART100

    臺面直徑

    mm

    100

    高度

    mm

    95

    中空尺寸

    mm

    25

    最大轉(zhuǎn)速

    rpm

    600rpm@48V

    峰值扭矩

    N·m

    3.9

    連續(xù)扭矩

    N·m

    3.2

    精度

    arcsec

    ±1.5

    雙向重復精度

    arcsec

    ±1

    最大負載_軸向

    Kg

    53

    最大負載_徑向

    Kg

    17

    軸向誤差運動(同步)

    nm

    <100

    徑向誤差運動(同步)

    nm

    <200

    傾斜誤差(同步)

     

    <2.5µrad(0.5arcsec)

    工作氣壓

    Mpa

    0.5

    耗氣量

    L/min

    <25

    總質(zhì)量

    Kg

    4

    *精度檢測轉(zhuǎn)速為60rpm檢測標準為GBT+17421.7-2016(ISO230-7-2006)以及GB/T17421.22000,環(huán)境溫度為22°±0.5℃

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