• 1000N推力
  • 10億次使用壽命的壓電陶瓷
  • 亞納米級分辨率
  • 結(jié)構(gòu)簡單,體積小巧
  • 適用高真空環(huán)境10??Pa
  • 集成球形端頭
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    上海隱冠半導(dǎo)體技術(shù)有限公司

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    產(chǎn)品中心詳情頁2
    壓電預(yù)壓致動器
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    C5型壓電預(yù)壓致動器
    C5型壓電預(yù)壓致動器
    C5型壓電預(yù)壓致動器
    主要特點(diǎn)

    • 1000N推力
    • 10億次使用壽命的壓電陶瓷
    • 亞納米級分辨率
    • 結(jié)構(gòu)簡單,體積小巧 
    • 適用高真空環(huán)境10??Pa
    • 集成球形端頭

    規(guī)格書下載 使用手冊獲取
    主要應(yīng)用
    • 靜態(tài)和動態(tài)精密定位
    • 光纖定位調(diào)節(jié)
    • 激光調(diào)諧    
    • 微納技術(shù)
    性能簡介

    預(yù)壓致動器是一種壓電陶瓷疊堆的鎧裝設(shè)備,起到保護(hù)疊堆和方便安裝的作用,同時預(yù)壓致動器內(nèi)部對壓電陶瓷施加了預(yù)壓力,可提供一定的拉力和對位移輸出的調(diào)節(jié)。預(yù)壓致動器可內(nèi)部集成應(yīng)變片實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制。

    機(jī)械尺寸圖

    默認(rèn)輸出端為球頭,可定制其他輸出端結(jié)構(gòu)。
     

     

    技術(shù)參數(shù)
    <<<左滑查看更多參數(shù)

     

    單位

    公差

    PAPL-C5-18N

    PAPL-C5-36N

    PAPL-C5-54N

    PAPL-C5-60N

    PAPL-C5-90N

    PAPL-C5-108N

    行程@150V*

    μm

    ±20%

    18

    36

    54

    60

    90

    108

    電容**

    μF

    ±20%

    1.5

    3

    4.5

    6

    7.5

    9

    開環(huán)分辨率

    nm

    典型值

    0.18

    0.36

    0.54

    0.72

    0.9

    1.08

    集成傳感器

     

     

    SGS

    SGS

    SGS

    SGS

    SGS

    SGS

    閉環(huán)分辨率***

    nm

    典型值

    0.36

    0.72

    1.08

    1.44

    1.8

    2.16

    諧振頻率

    kHz

    ±20%

    18

    14

    10

    8.5

    7

    6

    剛度

    N/μm

    ±20%

    57

    27

    19

    15

    12

    10

    推力****

    N

    最大值

    1000

    1000

    1000

    1000

    1000

    1000

    拉力

    N

    最大值

    150

    150

    150

    150

    150

    150

    工作電壓

    V

     

    -20~150

    -20~150

    -20~150

    -20~150

    -20~150

    -20~150

    工作溫度范圍

    °C

     

    -20~80

    -20~80

    -20~80

    -20~80

    -20~80

    -20~80

    電壓接口

       

    LEMO FFA.00.250

    傳感器接口

       

    LEMO FFA.0S.304

    線長

    m

    ±0.02m

    1.5

    1.5

    1.5

    1.5

    1.5

    1.5

    * 空載下位移輸出
    ** 電容測試條件:常溫環(huán)境,1Vpp,1kHz
    *** 閉環(huán)參數(shù)只適用閉環(huán)版本的壓電預(yù)壓致動器
    **** 推力測試:驅(qū)動電壓0~150V
    其他規(guī)格可根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制
    型號解讀
    <<<左滑查看更多參數(shù)

    定制信息

    PAPL系列C5型壓電預(yù)壓致動器,開環(huán)版本

    型號

    說明

    PAPL-C5-18N

    C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器,有效行程18μm,開環(huán)

    PAPL-C5-36N

    C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器,有效行程36μm,開環(huán)

    PAPL-C5-54N

    C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器,有效行程54μm,開環(huán)

    PAPL-C5-60N

    C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器,有效行程60μm,開環(huán)

    PAPL-C5-90N

    C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器,有效行程90μm,開環(huán)

    PAPL-C5-108N

    C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器,有效行程108μm,開環(huán)

     

    PAPL系列C5型壓電預(yù)壓致動器,應(yīng)變片閉環(huán)版本

    型號

    說明

    PAPL-C5-18S

    C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器,有效行程18μm,應(yīng)變片閉環(huán)

    PAPL-C5-36S

    C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器,有效行程36μm,應(yīng)變片閉環(huán)

    PAPL-C5-54S

    C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器,有效行程54μm,應(yīng)變片閉環(huán)

    PAPL-C5-60S

    C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器,有效行程60μm,應(yīng)變片閉環(huán)

    PAPL-C5-90S

    C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器,有效行程90μm,應(yīng)變片閉環(huán)

    PAPL-C5-108S

    C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器,有效行程108μm,應(yīng)變片閉環(huán)

     

    PAPL系列C5型壓電預(yù)壓致動器,開環(huán)、真空兼容版本

    型號

    說明

    PAPL-C5-18NU

    C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器,有效行程18μm,開環(huán),真空兼容至10??Pa

    PAPL-C5-36NU

    C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器,有效行程36μm,開環(huán),真空兼容至10??Pa

    PAPL-C5-54NU

    C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器,有效行程54μm,開環(huán),真空兼容至10??Pa

    PAPL-C5-60NU

    C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器,有效行程60μm,開環(huán),真空兼容至10??Pa

    PAPL-C5-90NU

    C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器,有效行程90μm,開環(huán),真空兼容至10??Pa

    PAPL-C5-108NU

    C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器,有效行程108μm,開環(huán),真空兼容至10??Pa

     

    PAPL系列C5型壓電預(yù)壓致動器,應(yīng)變片閉環(huán)、真空兼容版本

    型號

    說明

    PAPL-C5-18SU

    C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器,有效行程18μm,應(yīng)變片閉環(huán),真空兼容至10??Pa

    PAPL-C5-36SU

    C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器,有效行程36μm,應(yīng)變片閉環(huán),真空兼容至10??Pa

    PAPL-C5-54SU

    C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器,有效行程54μm,應(yīng)變片閉環(huán),真空兼容至10??Pa

    PAPL-C5-60SU

    C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器,有效行程60μm,應(yīng)變片閉環(huán),真空兼容至10??Pa

    PAPL-C5-90SU

    C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器,有效行程90μm,應(yīng)變片閉環(huán),真空兼容至10??Pa

    PAPL-C5-108SU

    C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動器,有效行程108μm,應(yīng)變片閉環(huán),真空兼容至10??Pa

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