微步電機(jī)陶瓷模組由多層壓電陶瓷層（通過(guò)機(jī)械方式串聯(lián)）以交錯(cuò)電極（電極間相互平行）的方式組成，其中包括了一定數(shù)量的壓電陶瓷厚度片與壓電陶瓷剪切片，能夠在兩軸輸出位移。其通過(guò)厚度片抬高、剪切片前進(jìn)，類似尺蠖昆蟲(chóng)的爬行方式來(lái)實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)行程。
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參數(shù) |
PANL-R001-14-16H4Q |
PANL-S06-22-5H7Q |
PANL-S06-22-7H5Q |
PANL-S06-22-12Q |
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運(yùn)動(dòng)軸 |
Z/X |
Z/X |
Z/X |
Z/X |
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元件高度一致性 |
≤0.03mm |
≤0.03mm |
≤0.03mm |
≤0.03mm |
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元件上頂面共面平面度 |
≤5μm |
≤5μm |
≤5μm |
≤5μm |
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元件下底面平面度 |
≤5μm |
≤5μm |
≤5μm |
≤5μm |
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元件上頂面與下底面平行度 |
≤10μm |
≤10μm |
≤10μm |
≤10μm |
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剪切壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電壓 |
-250V - 250V |
-250V~+250V |
-250V~+250V |
-250V~+250V |
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縱向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電壓 |
-250V - 250V |
-250V~+250V |
-250V~+250V |
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剪切壓電陶瓷位移（Y 向位移） |
≥±2μm@±250V |
≥±7μm@±250V |
≥±5μm@±250V |
≥±12μm@±250V |
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縱向壓電陶瓷位移（Z 向位移） |
≥3μm@500Vp-p(±250V) |
≥0.9μm@500Vp-p(±250V) |
≥1.5μm@500Vp-p(±250V) |
/ |
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剪切壓電陶瓷最大輸出力 |
≥±100N@±250V |
≥±50N@±250V |
≥±50N@±250V |
≥±50N@±250V |
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縱向壓電陶瓷最大輸出力 |
≥2000N@+250V |
≥700N@+250V |
≥1000N@+250V |
/ |
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單個(gè)壓電陶瓷腿縱向機(jī)械剛度 |
≥500N/μm |
≥250N/μm |
≥250N/μm |
≥250N/μm |
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剪切壓電陶瓷電容 |
≤40nF±15%@1Vp-p&1kHz |
≤30nF±15%@1Vp-p&1kHz |
≤90nF±15%@1Vp-p&1kHz |
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縱向壓電陶瓷電容 |
≤150nF±15%@1Vp-p&1kHz |
≤40nF±15%@1Vp-p&1kHz |
≤60nF±15%@1Vp-p&1kHz |
/ |
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剪切壓電陶瓷遲滯非線性 @500Vp-p |
≤40% |
≤40% |
≤40% |
≤40% |
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工作溫度 |
-25°C - 130°C |
-25°C - 130°C |
-25°C - 130°C |
-25°C - 130°C |
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居里溫度 |
280°C |
280°C |
280°C |
280°C |
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外形尺寸 L |
33mm±0.1mm |
13mm±0.1mm |
13mm±0.1mm |
13mm±0.1mm |
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外形尺寸 W |
10mm±0.1mm |
13mm±0.1mm |
13mm±0.1mm |
13mm±0.1mm |
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外形尺寸 H |
15mm±0.005mm |
8.7mm±0.005mm |
8.7mm±0.005mm |
8.7mm±0.005mm |
*位移測(cè)試：驅(qū)動(dòng)電壓 -250~250V、公差 ±15%；
** 外形尺寸：標(biāo)注尺寸為單側(cè)陶瓷模組尺寸，不包括線路板；
*** 電容測(cè)試條件：常溫環(huán)境，1Vpp，1kHz，公差 ±15%。
驅(qū)動(dòng)電壓：常見(jiàn)最大驅(qū)動(dòng)電壓可選范圍 50 - 250V，特殊電壓可按需定制。
位移定制：輸出位移取決于器件尺寸，提供多種剪切和厚度位移組合，位移行程可選。
工作頻率：可按需設(shè)計(jì)，單片致動(dòng)器最高驅(qū)動(dòng)頻率可達(dá) 50kHz。
外形定制：模組長(zhǎng)、寬、高可按需定制。
連接方式：滿足 AWG 標(biāo)準(zhǔn)下，可選配線束或柔性線路板，線束長(zhǎng)度、朝向及線路板設(shè)計(jì)可定制。
