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- 堆疊式3軸平臺，正交性設(shè)計
- 全局平面度、直線度達(dá)微米級
- X/Y軸
高剛度、高精度導(dǎo)軌設(shè)計
線纜擾動力一致性設(shè)計
- Z軸
垂向磁懸浮重力補(bǔ)償，可實現(xiàn)高定位精度
高剛性、高精度導(dǎo)向設(shè)計
垂向增量光柵，最高可實現(xiàn)5納米分辨率
超薄型、輕量化設(shè)計
最大可支持30mm垂向機(jī)械行程
晶圓生產(chǎn)控制應(yīng)用，例如薄膜計量、關(guān)鍵尺寸檢查等，以及晶圓劃線和晶圓激光退火等
堆疊式三維直線位移臺采用模塊化、超薄設(shè)計、正交性設(shè)計等理念，將MZM200-10標(biāo)準(zhǔn)模組集成在十字平臺L2S125模組之上，能實現(xiàn)X、Y和Z軸3自由度的高精度、高剛度直線運動。其中，MZM200-10標(biāo)準(zhǔn)模組采用了大行程磁浮重力補(bǔ)償技術(shù)，具有降低垂向電機(jī)的載荷，很大程度地提高了垂向運動性能和壽命的功能，可實現(xiàn)高精度上下方向定位的升降。十字平臺L2S125模組采用集成式、正交性設(shè)計理念，具有緊湊扁平的輪廓尺寸，能實現(xiàn)水平向X/Y軸2自由度的高精度、高剛度直線運動。
*接口尺寸數(shù)據(jù)來源于L3S190，且垂向處于行程最高位。
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X |
Y |
Z |
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軸 / Axes name |
X |
Y |
Z |
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行程 / Travel range |
350 mm |
350 mm |
9 mm (可定制) |
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最大速度 / Max. velocity |
0.6 m/s |
0.6 m/s |
0.1 m/s |
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加速度 / Max. acceleration |
5 m/s² |
5 m/s² |
2 m/s² |
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精度_校準(zhǔn)前 / Accuracy_indicative value |
±20 μm |
±20 μm |
- |
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精度_校準(zhǔn)后 / Accuracy_calibration value |
±2 μm |
±2 μm |
±0.5 μm /1 mm |
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雙向重復(fù)精度 / Bidirectional repeatability |
±1 μm |
±1 μm |
±0.3μm /1mm |
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直線度 / Straightness |
±10 μm |
±10 μm |
- |
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俯仰 / Pitch |
±75 arcsec |
±50 arcsec |
±50 arcsec |
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橫滾 / Roll |
- |
- |
±50 arcsec |
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偏擺 / Yaw |
±75 arcsec |
±75 arcsec |
- |
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正交性 / Orthogonality |
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5 μm |
- |
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驅(qū)動負(fù)載（無負(fù)載）/Moving mass (without payload) |
14.2 Kg |
27.5 Kg |
6.7 Kg |
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最大負(fù)載 / Max. load |
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5 Kg |
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平臺質(zhì)量 / Stage mass |
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40 Kg |
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外觀尺寸 / Dimensions |
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734 mm×600 mm×187 mm (垂向處行程最高位) |
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在整個產(chǎn)品序列里，配置了可根據(jù)用戶實際應(yīng)用選擇的可選項?？蛇x內(nèi)容包括編碼器、高精度標(biāo)定和控制系統(tǒng)等選項。
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表1編碼器選項 |
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-S1 |
增量式模擬光學(xué)式編碼器 |
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-S2 |
增量式數(shù)字光學(xué)式編碼器 |
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-S3 |
絕對式光學(xué)式編碼器 |
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表2導(dǎo)軌選項 |
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-Gl |
高剛度機(jī)械導(dǎo)軌 |
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-G2 |
高性能氣浮導(dǎo)軌 |
