X、Y、Z、T四軸

360°無限制旋轉(zhuǎn)運動，無管路纏繞

支持12'、8'晶圓真空吸附

X、Y軸行程：350 mm

Z軸：10 mm ?（可定制）

雙向重復(fù)精度：
±0.5μm（X、Y軸）
±0.3μm/1mm（Z軸）
±2 arcsec（T軸" />

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多軸運動臺

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L4S210堆疊式四軸精密位移臺

主要特點

堆疊式4軸平臺，正交性設(shè)計
全局平面度、直線度達微米級

X/Y 軸

高剛度、高精度導(dǎo)軌設(shè)計
線纜擾動力一致性設(shè)計

Z 軸

垂向磁懸浮重力補償，可實現(xiàn)高定位精度
高剛性、高精度導(dǎo)向設(shè)計
垂向增量光柵，最高可實現(xiàn)5納米分辨率
超薄型、輕量化設(shè)計
垂向最大可支持30mm 機械行程

T軸

360°旋轉(zhuǎn)，無管路纏繞，支持12'、8'晶圓真空吸附
支持最大0.7mm翹曲晶圓
最大支持轉(zhuǎn)速150rpm

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主要應(yīng)用

晶圓生產(chǎn)控制應(yīng)用，例如薄膜計量、關(guān)鍵尺寸檢查等，以及晶圓劃線和晶圓激光退火

性能簡介

堆疊式四軸精密位移臺采用模塊化、超薄設(shè)計、正交性設(shè)計等理念，將MZT90標(biāo)準(zhǔn)模組集成在交叉十字平臺L2S125模組之上，能實現(xiàn)X、Y、Z和T軸4自由度的高精度、高剛度運動。其中MZT90采用創(chuàng)新性的雙軸耦合設(shè)計理念，具有緊湊扁平的輪廓尺寸，能實現(xiàn)Z/T軸2自由度的高精度、高剛度運動。交叉十字平臺L2S125模組采用集成式、正交性設(shè)計理念，具有緊湊扁平的輪廓尺寸，能實現(xiàn)水平向X/Y 軸2自由度的高精度、高剛度直線運動。

機械尺寸圖

*接口尺寸數(shù)據(jù)來源于L4S210，且行程處于中間位。

技術(shù)參數(shù)

<<<左滑查看更多參數(shù)

技術(shù)指標(biāo)	單位	L4S210-350
軸		X	Y	Z	T
行程		350 mm	350 mm	10 mm	360°,Infinite
最大速度		1 m/s	1 m/s	0.1 m/s	900°/s
加速度		10 m/s²	10 m/s²	2 m/s²	6280°/s²
精度_校準(zhǔn)前		±10 μm	±10 μm
精度_校準(zhǔn)后		±1 μm	±1 μm	0.05 μm	±3 arcsec
雙向重復(fù)精度		±0.5 μm	±0.5 μm	±0.3 μm/1mm	±2 arcsec
位置穩(wěn)定性（3σ）		±2 nm*	±2 nm*	±15 nm*	±0.072 arcsec
直線度		±2 μm over range	±2 μm over range	1μm
俯仰		±5 arcsec	±5 arcsec
橫滾		±5 arcsec	±5 arcsec
偏擺		±10 arcsec	±10 arcsec
正交性		±15 arcsec	±15 arcsec
軸跳&徑跳		NA	NA	NA	±2 μm
機械特征
驅(qū)動負(fù)載（無負(fù)載）		27 Kg	45 Kg	7 Kg	0.00336 Kg.m^2
最大負(fù)載	Kg	2（可定制）
平臺質(zhì)量	Kg	40（鋁合金材料）
外觀尺寸	mm×mm×mm	752×606×209.1（行程處于中間位）

*測試數(shù)據(jù)來源于采用8μm pitch光柵尺的測試，且運動臺處于主動隔振環(huán)境下。

定制信息

在L4S210-350產(chǎn)品序列里，配置了可根據(jù)用戶實際應(yīng)用選擇的可選項?？蛇x內(nèi)容包括編碼器、導(dǎo)軌和控制系統(tǒng)等選項。 X軸底座可根據(jù)客戶需求，改為大理石底座，可提供更高的定位精度。

表 1編碼器選項
-S1	增量式模擬光學(xué)式編碼器，1Vpp
-S2	增量式數(shù)字光學(xué)式編碼器，TTL
-S3	絕對式光學(xué)式編碼器，BISS
表 1 垂向?qū)к夁x項
-Gl	高精度氣浮導(dǎo)軌，垂向機械行程 6mm
-G2	高精度交叉滾子導(dǎo)軌，垂向機械行程24mm
-G3	高精度防蠕變交叉滾子導(dǎo)軌，垂向機械行程13mm

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機械導(dǎo)軌與氣浮導(dǎo)軌的復(fù)合應(yīng)用
360° 無限制旋轉(zhuǎn)運動，無管路纏繞
支持 12"、8"、6" 多種規(guī)格晶圓吸附
行程：
320 mm（X 軸）
550 mm（Y1/Y2）
10 mm（Z 軸，可定制）
雙向重復(fù)精度：
±0.4μm（X、Y 軸）
±0.3μm/1mm（Z 軸）
±2 arcsec（T 軸）
垂向磁懸浮重力補償
最大支持轉(zhuǎn)速 900°/s（相當(dāng)于 15rpm ）

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L4S210堆疊式四軸精密位移臺

X、Y、Z、T四軸
360°無限制旋轉(zhuǎn)運動，無管路纏繞
支持12'、8'晶圓真空吸附
X、Y軸行程：350 mm
Z軸：10 mm （可定制）
雙向重復(fù)精度：
±0.5μm（X、Y軸）
±0.3μm/1mm（Z軸）
±2 arcsec（T軸）
垂向磁懸浮重力補償
最大支持轉(zhuǎn)速150rpm
支持最大0.7mm翹曲晶圓

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L3S190堆疊式三維直線位移臺

X、Y、Z三軸
X、Y軸行程：350 mm
Z軸：9 mm （可定制）
雙向重復(fù)精度：
±1μm（X、Y軸）
±1μm & ±0.3μm/1 mm（Z軸）
最大負(fù)載：5 Kg

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LST190堆疊式三軸精密位移臺

X、Y、T三軸
360°無限制旋轉(zhuǎn)運動
X、Y軸行程：365 mm
最大轉(zhuǎn)速：150 rpm
雙向重復(fù)精度：
±0.5μm（X、Y軸）
±2 arcsec（T軸）

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PS150極坐標(biāo)精密位移臺

X、Z、T三軸
360°無限制旋轉(zhuǎn)運動
X軸行程：155mm
Z軸行程：30mm (可定制)
最大轉(zhuǎn)速：150rpm
雙向重復(fù)精度：
±0.5μm(X軸)
±0.2μm/1mm (Z軸)
±2 arcsec(T軸)
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GS200二維精密轉(zhuǎn)臺

兩軸360°無限制旋轉(zhuǎn)萬向節(jié)系統(tǒng)
最大轉(zhuǎn)速： 100 rpm
精度：±5 arcsec to ±40 arcsec
最大負(fù)載：6.8-16 Kg
中空尺寸：95-206 mm

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    </div>

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input.addEventListener('blur', function() {
   
   if (input.value.trim() !== '') {
        input.classList.add('ipt-not-empty');
		 
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